为了提高超高频示波器的测量精度，可以采取以下措施：

1. 选择合适的探头：确保使用与示波器兼容的高带宽探头，最好是同一家公司生产的，以减少兼容性问题。对于低幅度信号测量，考虑使用1:1探头以减少信号衰减。

2. 校准：每次测量前进行手动校准或使用示波器的自动校准功能，以确保测量结果的准确性。

3. 优化触发设置：选择合适的触发模式和触发电平，以确保波形的稳定显示，减少测量误差。

4. 提高采样率：确保示波器的采样率高于被测信号频率的2倍以上，以避免混叠现象，提高时间分辨率。

5. 使用高分辨率模式：利用示波器的高分辨率采集模式（如平均模式或HiRes模式）来提高垂直分辨率，减少噪声影响。

6. 减少外部干扰：采取屏蔽措施，使用滤波器，确保测试环境的稳定性，以减少外部噪声对测量结果的影响。

7. 差分测量：在进行时差或传输延迟的测量时，使用同样长度的探头，以减少电缆长度差异带来的误差。

8. 定期维护和检查：定期检查示波器和探头的状态，确保其性能处于最佳状态。